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臺式X射線源 工作波長20nm 脈寬7ns 重復頻率10 Hz  2021-09-01

激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。

產品型號
縱向   橫向
型號 貨號 操作 名稱
EUV-B-XRAY B80020087 20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns   [PDF] 工作波長 20nm;脈寬 7 ns;脈沖能量(Xe) 3.5 mJ (4π sr, 2% BW);轉換效率 0.45% ;等離子形狀 ? ~ 300 μm;重復頻率 10 Hz 8-10 weeks
產品特點

● 低殘留

● 高EUV能量(3.5 MJ)

● 最低耗氣量(氣體脈沖持續時間:<1 ms)

● 簡單目標氣體交換

● 桌面系統

技術參數

參數

單位

指標

產品編號


EUV-B-XRAY

工作波長

nm

20nm

脈寬

ns

7

脈沖能量(Xe

mJ

3.5(4π sr, 2% BW)

轉換效率

%

0.45

等離子形狀

NA

? ~ 300 μm

重復頻率

HZ

10


測試數據展示:

tc.pngtc_副本.png


tc1.png

產品應用

● 計量:反射測量、吸收

● 光譜學(nexafs)

● 光學/傳感器測試

● EUV損壞調查

● 材料相互作用基礎研究

● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)

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